株式会社エイテック

  • プレインベア事業部 TEL 0562-85-3101
  • エアツール事業部 TEL 0562-46-9003
製品紹介

PVPseries

  • スチール製/STEEL
  • ステンレス製/STAINLESS
  • 樹脂製/RESIN
  • RoHS
  • PAT
  • PAT.P

クリーンルームで使用するプレインベアは、ガラス基板などの製造工程における、様々な使用環境(耐磨耗・耐熱・静電防止・真空環境など)によってその材質や洗浄レベルを変える必要性があります。

エイテックでは、クリーンブース内、クリーンベンチにて組み立てから梱包までを行っています。パーツ単位では、脱脂・専用クリーナーを使用しての純水洗浄を行い、ボールの加工時に表面に付着した樹脂粉も極限まで除去しています。

洗浄・組立フローチャート PVP series

洗浄・組立フローチャート PVP series

洗浄・組立フローチャート PVP series 注釈

樹脂の特性

POM
〈 ポリアセタール 〉
成形加工性が高いエンジニアリングプラスチックの代表。
バランスの良い機械的特性も持ち連続使用温度は80℃程度。強酸に弱く、燃えやすい。
UHMWPE
〈 超高分子量ポリエチレン 〉
耐摩耗性に特に優れ(POM、ステンレスより耐摩耗性は高い)耐衝撃性は、プラスチックの中では最高である。水にも強いが、連続使用温度は80℃程度。
PEEK
〈 ポリエーテルエーテルケトン 〉
優れた耐熱特性(連続使用温度150℃)と耐疲労性、耐磨耗性を有し濃硫酸以外は使用可能な高分子樹脂。ガスの溶出もほとんどなし。
PI
〈 ポリイミド 〉
ポリイミド100%の超耐熱性樹脂。(連続使用250℃、使用限界は短時間使用で450℃)
有機溶剤、グリス、オイルに対して影響を受けず優れた耐摩耗性を持ち合わせた樹脂。
D
〈 誘電タイプ(帯電防止) 〉
静電防止グレードで各素材とも黒色になる。表面低効率が103~107ΩのESDやその他の静電気による問題対策に使用。本体、小ボールとも誘電タイプ樹脂またはステンレスを採用。

※その他材質も製作可能です。ご希望の仕様等がございましたらお気軽にお申し付けください。

PVP20B series (PAT.P)  走行発塵・耐久走行データ

クリーンボックス内で走行させた時の一立方フィート辺りのパーティクルデータを測定しています。

 試験仕様

走行発塵テスト:測定型式 PVP20BJ-JJ(大ボール:POM/小ボール:POM/本体:POM)
耐久走行テスト:測定型式 PVP20BU-JJ( 大ボール:UHMWPE/小ボール:POM/本体:POM)
試験荷重 14.7N(1.5kgf)
走行速度 300mm/sec
PVP 接触面 ガラス片を使用

 クリーンボックス内環境

未走行時発塵データ PARTICLE 0.3μ:2個/PARTICLE 0.5μ:0個
ボックスファン連続稼動 能力:11.0m3/min 〈 NIC Autotec, Inc. 〉
計測機器 AIR BORNE PARTICLE COUNTER RION HHPC-2
能力:0.1cf/min (1km走行毎に10分間吸引)
走行時間 1日10時間 連続走行30日間

 PVP20BJ-JJ 走行発塵データ

PVP20BJ-JJ 走行発塵データ

 PVP20BU-JJ 耐久走行データ

PVP20BU-JJ 耐久走行データ

PVP20Bシリーズ

※その他の材質のデータもご用意してあります。ご希望の仕様等がございましたらお気軽にお申し付けください。

PVPseries

  • スチール製/STEEL
  • ステンレス製/STAINLESS
  • 樹脂製/RESIN
  • RoHS
  • PAT
  • PAT.P

各種プラスチックの材質を選定することにより、ガラス面のダメージを抑え、条件に合わせた搬送・位置決めに適応させます。支持用プラスチックピンなどを 使用した従来の位置決め方法より軽く、発塵も少ないのが特長です。

ボルト部に穴加工を施すことにより内部に入り込んだ細かな粉塵を吸引することができます。(オプション)

PVP(10B・16B・20B)型式表示

PVP10Bタイプ

PVP10BJ-SJ PVP10BJ-SJ

PVP10BP-SS PVP10BP-SS

PVP10BU(D)-SUS PVP10BU(D)-SUS

PVP10BP(D)-SJ(D)S PVP10BP(D)-SJ(D)S

型式Model 推奨使用荷重Recommended
Load Capacity
推奨締付トルク 材質 使用方向Use Direction
PVP10BJ-SJ 4.9N(0.5kgf) 1.3~1.6N·m 樹脂ボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP10BP-SS 4.9N(0.5kgf) 11.2~13.7N·m SUSボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP10BU(D)-SUS 4.9N(0.5kgf) 11.2~13.7N·m コンビネーション 上下兼用Upward·Downward
PVP10BP(D)-SJ(D)S 4.9N(0.5kgf) 11.2~13.7N·m 導電性コンビネーション 上下兼用Upward·Downward

PVP16Bタイプ

PVP16BJ-SJ PVP16BJ-SJ

PVP16BU-SS PVP16BU-SS

PVP16BU-SUS PVP16BU-SUS

PVP16BU(D)-SU(D)S PVP16BU(D)-SU(D)S

型式Model 推奨使用荷重Recommended
Load Capacity
推奨締付トルク 材質 使用方向Use Direction
PVP16BJ-SJ 8.8N(0.9kgf) 1.3~1.6N·m 樹脂ボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP16BU-SS 8.8N(0.9kgf) 11.2~13.7N·m SUSボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP16BU-SUS 8.8N(0.9kgf) 11.2~13.7N·m コンビネーション 上下兼用Upward·Downward
PVP16BU(D)-SU(D)S 8.8N(0.9kgf) 11.2~13.7N·m 導電性コンビネーション 上下兼用Upward·Downward

PVP20Bタイプ

PVP20BJ-JJ PVP20BJ-JJ

PVP20BP-SS PVP20BP-SS

PVP20BV-SUS PVP20BV-SUS

PVP20BP(D)-SJ(D)S PVP20BP(D)-SJ(D)S

型式Model 推奨使用荷重Recommended
Load Capacity
推奨締付トルク 材質 使用方向Use Direction
PVP20BJ-JJ 14.7N(1.5kgf) 1.3~1.6N·m 樹脂ボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP20BP-SS 14.7N(1.5kgf) 11.2~13.7N·m SUSボディ 上下兼用Upward·Downward
PVP20BV-SUS 14.7N(1.5kgf) 11.2~13.7N·m コンビネーション 上下兼用Upward·Downward
PVP20BP(D)-SJ(D)S 14.7N(1.5kgf) 11.2~13.7N·m 導電性コンビネーション 上下兼用Upward·Downward

PVPRseries

  • スチール製/STEEL
  • ステンレス製/STAINLESS
  • 樹脂製/RESIN
  • RoHS
  • PAT
  • PAT.P

エアの力で大ボールを固定する機構によりガラス基板等のワークの位置ズレを防止します。通常時はPVPシリーズと同様スムーズに大ボールが転がります。20Bタイプのみゴミ吸引が可能な仕様がございます。

PVPR(10B・16B・20B)型式表示

プレインベア独自の大ボールロック機構

プレインベア独自の大ボールロック機構

PVPR10B 大ボールロックタイプ

PVPR10BJ-SJ PVPR10BJ-SJ※写真は製品の一例です

図面:PVPR10BJ-SJ

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 推奨締付トルク 使用圧力範囲Pressure Range ボディ材質と自重 使用方向Use Direction
樹脂 SUS コンビ
ネーション
導電性コンビ
ネーション
PVPR10B□-□□□ 4.9N(0.5kgf) 1.3~1.6N·m 0.4~0.5MPa 8g 33g 28g 28g 上向きUpward

PVPR16B 大ボールロックタイプ

PVPR16BJ-SJ PVPR16BJ-SJ※写真は製品の一例です

図面:PVPR16BJ-SJ

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 推奨締付トルク 使用圧力範囲Pressure Range ボディ材質と自重 使用方向Use Direction
樹脂 SUS コンビ
ネーション
導電性コンビ
ネーション
PVPR16B□-□□□ 8.8N(0.9kgf) 1.3~1.6N·m 0.4~0.5MPa 10g 41g 36g 36g 上向きUpward

PVPR20B 大ボールロックタイプ

PVPR20BJ-JJ PVPR20BJ-JJ※写真は製品の一例です

図面:PVPR20BJ-JJ

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 推奨締付トルク 使用圧力範囲Pressure Range ボディ材質と自重 使用方向Use Direction
樹脂 SUS コンビ
ネーション
導電性コンビ
ネーション
PVPR20B□-□□□ 14.7N(1.5kgf) 1.3~1.6N·m 0.4~0.5MPa 12g 50g 43g 43g 上向きUpward

PVPR20B-H 大ボールロックタイプ[ゴミ吸引穴付]

PVPR20BJ-JJ-H PVPR20BJ-JJ-H※写真は製品の一例です

図面:PVPR20BJ-JJ-H

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 推奨締付トルク 使用圧力範囲Pressure Range ボディ材質と自重 使用方向Use Direction
樹脂 SUS コンビ
ネーション
導電性コンビ
ネーション
PVPR20B□-□□□-H 14.7N(1.5kgf) 1.3~1.6N·m 0.4~0.5MPa 12g 50g 43g 43g 上向きUpward

PVPAseries

  • スチール製/STEEL
  • ステンレス製/STAINLESS
  • 樹脂製/RESIN
  • RoHS
  • PAT
  • PAT.P

PVP20Bシリーズの本体パーツをPOM成形品にする事により大幅にコストダウンを実現した汎用タイプのクリーンルーム対応プレインベアです。全てのラインナップがゴミ吸引が可能な仕様となります。

PVPA20B型式表示

PVPA20Bタイプ[ゴミ吸引穴付]

PVPA20BJ-JJ PVPA20BJ-JJ

PVPA20BU-JJ PVPA20BU-JJ

PVPA20BP-JJ PVPA20BP-JJ

PVPA20BV-JJ PVPA20BV-JJ

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 推奨締付トルク 自重Weight 使用方向Use Direction
PVPA20B□-□J 14.7N(1.5kgf) 1.3~1.6N·m 9g 上向きUpward

PVP30JCseries

  • スチール製/STEEL
  • ステンレス製/STAINLESS
  • 樹脂製/RESIN
  • RoHS
  • PAT
  • PAT.P

本体パーツをPOM成形品にする事により大幅なコストダウンを実現した汎用タイプの推奨使用荷重78.4N(8kgf)タイプ

クリーンルーム対応プレインベアです。

PVP30JC PVP30JC

図面:PVP30JC

大小ボールの材質変更が可能です。

型式Model 推奨使用荷重Recommended Load Capacity 自重Weight 使用方向Use Direction 大ボールMain Ball 小ボールSmall Balls ボール受けBody カバーCover
PVP30JC 78.4N(8kgf) 28g 上下兼用Upward·Downward POM POM POM POM